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XNK-945 |
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| 设备尺寸 |
[XNK-745]5,290L×1,490Wmm×1,415Hmm
[XNK-945]5,910L×1,490Wmm×1,415Hmm |
| 传输线 |
900mm±20mm |
| 基板尺寸 |
MAX.450Wmm×510Lmm×5Tmm
MIN.50Wmm×80Lmm×0.5Tmm |
| 标准上下开口尺寸 |
上部15mm下部15mm(含基板厚度及弯曲) |
| 氮气消费量 |
1.000ppm时、250l/min以下 |
| 设备容量 |
[XNK745] 3相 AC200V 55KVA (3 Phase)(3相) |
| 重量 |
[XNK745] Approx. 2,700kg |
[XNK945] Approx. 3,000kg |
| 外部通信 |
以太网 |
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XNB-738 |
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| 设备尺寸 |
5,400L×1,350Wmm×1,415Hmm |
| 传输线 |
900mm(+20mm-10mm) |
| 基板尺寸 |
MAX.380Wmm×510Lmm×5Tmm
MIN.50Wmm×80Lmm×0.5Tmm |
| 标准上下开口尺寸 |
上部15mm下部15mm(含基板厚度及弯曲) |
| 氮气消费量 |
1.000ppm时、300l/min以下 |
| 设备容量 |
3相 AC200V 44KVA ※ (R)型时 47KVA |
| 重量 |
Approx. 2,300kg |
| 外部通信 |
以太网 |
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XCN-745 |
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| 设备尺寸 |
4250L×1,490Wmm×1,415Hmm |
| 传输线 |
900mm±20mm |
| 基板尺寸 |
MAX.450Wmm×510Lmm×5Tmm
MIN.50Wmm×80Lmm×0.5Tmm |
| 标准上下开口尺寸 |
上部25mm下部25mm(含基板厚度及弯曲) |
| 设备容量 |
3相 AC200V 55KVA (3 Phase)(3相) |
| 重量 |
Approx. 2,400kg |
| 外部通信 |
以太网 |
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XCB-738 |
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| 设备尺寸 |
4,650L×1,350Wmm×1,415Hmm |
| 传输线 |
900mm(+20mm-10mm) |
| 基板尺寸 |
MAX.380Wmm×510Lmm×5Tmm
MIN.50Wmm×80Lmm×0.5Tmm |
| 标准上下开口尺寸 |
上部25mm下部25mm(含基板厚度及弯曲) |
| 设备容量 |
3相 AC200V 44KVA ※ (R)型时 47KVA |
| 重量 |
Approx. 2,000kg |
| 外部通信 |
以太网 |
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